Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе

В книге рассматриваются вопросы получения гетероэпитаксиальных структур кремния на сапфире и шпинеле и формирования на их основе интегральных схем. Изложены современные методы выращивания кристаллов сапфира и алюмомагниевой шпинели, а также методы подготовки диэлектрических подложек к гетероэпитаксии. Тираж 2900.

Автор	Папков В. С., Цыбульников М. Б.
Издательство	Энергия
Год издания	1979
Возрастное ограничение	12+
Объем (стр)	88
Переплет	Обложка
Состояние	Хорошее